名稱"微機械超聲換能器 （穆）"用來生成並檢測超聲使用微細加工技術的設備。雖然一般條款也適用于在換能器塑造大容量的壓電材料使用微加工技術所作的更具體的定義是指對設備的微小膜推動電容式或壓電驅動的。的電容和壓電微機械到來超聲換能器、 cMUTs 和 pMUTs，分別取得了可能由積體電路製造技術的研究進展。這條重點尤其是在 cMUTs。