Nedestruktivní fyzikální metoda používaná pro chemické elementární analýzy materiálů v pevném nebo kapalném stavu. Vzor je ozářených fotony nebo nabité částice dostatek energie, aby způsobit jeho prvky k vyzařování (fluoreskují) jejich charakteristické rentgenové čáry spektra. Detekce systém umožňuje určit energií emitovaného linek a jejich intenzitě. Prvky ve vzorku jsou identifikovány jejich Spektrální čára energie nebo vlnových délkách pro kvalitativní analýzu a míry souvisejí s jejich koncentrace pro kvantitativní analýzu. Počítače jsou široce využívány v tomto poli pro automatické shromažďování a snižování rentgenové dat % hmotnostních a atomové procent chemické složení nebo související oblasti hmotnost (filmy).